PFC 가스 촉매식 재처리 기술 국산화


반도체 공정에서 배출되는 과불화화합물(PFC) 가스를 저온에서 분해할 수 있는 촉매식 처리기술이 세계에서 두번째로 국내 연구진에 의해 개발됐다.

한국화학연구원 화학기술부의 박용기·김희영 박사팀은 환경부의 차세대 핵심 환경기술 개발사업의 일환으로 지난 2001년부터 올해까지 2년간의 연구 끝에 반도체 공정에서 배출되는 유해 폐가스의 처리기술을 개발하는데 성공했다고 26일 밝혔다.

 

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http://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=105&oid=030&aid=0000041275