연구방향
반도체·디스플레이 공정의 클린룸 내 각종 유해물질인 AMC*는 제품의 수율을 하락시키고, 작업자에게도 유해합니다. 최근 반도체를 포함한 IT 산업에서 고집적화가 빠르게 진행되어 클린룸 내 유해물질 제거의 중요성은 날로 커지고 있습니다. 에코프로에이치엔은 기술고도화를 통해 전자제품 제조 클린룸 및 생활환경 공기질 향상에 필요한 고기능성 흡착제 및 케미컬필터를 개발 중이며, 친환경 경영에 앞서고자 ESG向 제품 개발에 힘쓰고 있습니다.
* AMC : Airborne Molecular Contamination의 약자로 휘발성 유기화합물, 산염기가스, 오존 등주요 연구 분야
- 고기능성 흡착제·촉매 개발
- 반도체·디스플레이 Fab 및 공정장비용 AMC정화 케미컬필터 개발
- 악취 및 유해가스 제거 기술 개발
- 생활환경 공기질(IAQ: Indoor Air Quality)개선 필터 개발
- 각종 분석장비용 필터 개발
